也是前者的数倍。
01 集“亮场”和“暗场”于一体，既保证了对光刻、刻蚀等关键制程的检测要求，也提供了经济高效的检测方案，拓展了设备的应用场景，降低了设备的使用成本。
02 采用“多通道成像（MCI）技术”，提高了设备对不同“被检测材料/物体”的检测灵敏度。
03 使用“动态影像解析度扩展（HDR）技术”，更好地解决了“金属-非金属”混合表面“明暗反差”问题。
04 该设备可根据客户需求，兼容两种不同的晶圆尺寸，拓展了设备使用范围。
05 集成大量先进的图像识别与人工智能软件技术，且能够与国际半导体制造业通用软件系统和信息交换系统相匹配。
据了解
中导光电是一家半导体工业前道制程高端缺陷检测设备研发和产业化的专业公司，成立以来的16年内，在平板显示（FPD）等工业领域销售检测设备近300台。公司曾承担国家级科研项目、省市科研项目数十项，积累了丰富的半导体高端检测设备研发与产业化经验，是半导体工业前道制程高端缺陷检测领域的关键国产替代供应商。
本文来源：肇庆高新发布
转载日期：2022年9月20日
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